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IBE-420 Si 是一自动化的单基片真空基片装卸生产系统, 采用直径300mm电感耦合式离子源用于大直径基片加工。RF-350也能通过它的电感耦合的、高度准直的, 无灯丝的射频(RF)离子源在反应性离子束刻蚀(RIBE) 或离子离子铣削过程中提供极佳的均匀性。反应性气体的加工能力以及对离子束参数和离子入射角独立的控制也提供了加工的最大限度的灵活性。模块化设计促进了系统从单个基片真空装卸加工到cassette-to-cassette基片装卸加工顺利且低成本的改进。